鑫松电器洁净氮气柜您值得拥有

蓝色星辰

        产品应用：

        适合半导体前端单晶硅制程中硅片及晶圆盒的存放,防止硅片的返颗粒，返雾现象；由于大部分的存储柜或者是氮气柜设计都为全封闭环境，只控制湿度及氧含量浓度这块，并无自净功能,故内部容易积聚大量灰尘，而这些灰尘极可能粘附在存储品上。鑫松电器洁净氮气柜则适合存放需要低湿保存，同时又需要避免灰尘污染的物品.

         

        相关技术指标：

        1）洁净等级

        专业高效洁净过滤装置，滤网采用进口超细玻璃纤维,确保洁净氮气柜内CLASS 10~100级/1000级（10级一般是指空柜或每层放置固定数量晶圆盒情况下，必潔淨度能逹到须满足每立方英尺内颗粒≦10ea@0.3um & ≦20ea@0.2um）。   

        2）TDH实验

        即存放在洁净氮气柜内经过干燥2小时的硅片不能有不正常或超标返颗粒的现象产生(返颗粒取样测试后总数平均数与原有硅片颗粒数对比≦10ea (包括0.2um及0.3um))   

        3）降湿速度

        除湿性能可达到5%以下,空柜或每层放置固定数量晶圆盒，在氮气流量不大于70L/M的情况下，湿度从50%降至10%所需时间不大于30min；

        4) 进口无尘风机：采用进口无尘室专用FFU风机，面风速：0.3～0.45m/s；

        5）静电残余值测定鑫松电器全功能洁净氮气柜（选配）

        洁净氮气柜内放置的硅片盒，经过干燥2小时后，硅片盒取样及定点测试静电值必须≦1kv

        6）柜内风速均匀性

        洁净氮气柜内有氮气的无死角，可使用风速测定仪来检测内部硅片放置各点的风速，不能有较大差异。

        7）温湿度显示及记录管理。

        温湿度显示：采用4英寸超大LED显示，有效视距可达30米；

        温湿度显示监控: 可对温湿度作24小时不间断的监控，在洁净柜在完全关闭的情况下，湿度不能有超过±5%RH的波动。

         

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